DISPOSITIF D'ALIGNEMENT POUR MACHINES DE FABRICATION DE CIRCUITS INTEGRES

摘要

LE DISPOSITIF D'ALIGNEMENT, UTILISABLE DANS UN PHOTOREPETEUR SUR TRANCHE, PERMET D'ALIGNER UN MOTIF DE REFERENCE 7 PORTE PAR UN RETICULE 8 AVEC UN MOTIF D'ALIGNEMENT PORTE PAR LA TRANCHE DE SILICIUM SUR LAQUELLE DOIT ETRE REPETE LE TRACE DU RETICULE. CE DISPOSITIF COMPREND UN MICROSCOPE DEPLACABLE SUIVANT DEUX DIRECTIONS X ET Y CONJUGUEES DES DIRECTIONS DE DEPLACEMENT DU RETICULE ET DE LA TRANCHE, ET UN MIROIR DE VISEE 15. CE MIROIR EST DEPLACABLE ENTRE UNE POSITION OU IL DEGAGE LE TRAJET DU FAISCEAU PROVENANT D'UN INSOLATEUR 3 ET UN ETAT DANS LEQUEL IL DIRIGE UN PINCEAU DE LUMIERE D'ECLAIRAGE PROVENANT D'UNE SOURCE 17 A TRAVERS LE MOTIF DE REFERENCE VERS LA TRANCHE ET RAMENE LA LUMIERE REFLECHIE VERS LE MICROSCOPE EN FAISANT PASSER LE RAYON MOYEN PAR LE FOYER OBJET F DE L'OBJECTIF PHOTOREDUCTEUR 4.