| 发明名称 |
REACTIVE ION ETCHING OF SOFT-MAGNETIC BODIES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2114513(A) |
申请公布日期 |
1983.08.24 |
| 申请号 |
GB19830003545 |
申请日期 |
1983.02.09 |
| 申请人 |
NV * PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN |
发明人 |
THIJS WILLEM * BRIL;WILLIBRORDUS GERARDUS MARIA * VAN DEN HOEK |
| 分类号 |
H01L21/302;C04B41/53;C23F4/00;G11B5/127;G11B5/193;H01F1/12;H01F41/00;H01F41/34;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F1/02;C04B41/00 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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