| 主权项 |
1.一种微镜装置(10/10'),包含: 一基材(20)具有一表面(22); 一板(30)与该基材表面平行定向而间隔分开,且该 板与基材表面之间会形成一空穴(50); 一介电液体(52)设于该空穴内;及 一反射元件(42/142/242/342/442)介设于该板与基材表 面之间; 其中该反射元件系可在一第一位置与至少一第二 位置之间移动。 2.如申请专利范围第1项之装置,其中该板与该介电 液体皆为透明的。 3.如申请专利范围第1项之装置,其中该反射元件系 浸入于介电液体中。 4.如申请专利范围第1项之装置,其中该反射元件系 被设在介电液体上。 5.如申请专利范围第1项之装置,其中该反射元件之 至少一第二位置系对该第一位置呈一角度来定向 。 6.如申请专利范围第1项之装置,其中该反射元件之 至少一第二位置系平行于该第一位置来定向。 7.如申请专利范围第1项之装置,更包含: 至少一支柱(24)由该基材表面伸出而会相对于该基 材表面来支撑该反射元件。 8.如申请专利范围第7项之装置,更包含: 至少一铰链(186/286/386/486)系经由该至少一支柱来 撑持该反射元件,其中该至少一铰链系可便于该反 射元件在第一位置与该至少一第二位置之间移动 。 9.如申请专利范围第7项之装置,更包含: 一导电孔(26)延伸贯穿该至少一支柱而电连接于该 反射元件。 10.如申请专利范围第7项之装置,其中该反射元件 包含一矩形部(180)具有四个相接的侧部(181),而该 至少一支柱系设在该四个侧部之中。 11.如申请专利范围第7项之装置,其中该反射元件 包含一H形部(280)具有一对分开的脚部(281)及一连 接部(282)延伸于该二分开的脚部之间,而该至少一 支柱系包含一对支柱其各设在该二脚部之间的连 接部之相反两侧处。 12.如申请专利范围第7项之装置,其中该反射元件 包含一矩形中央部(380)及多数的矩形部(382)等设在 该中央部的边角处,而该至少一支柱系包含多数的 支柱各设在该中央部的边角处。 13.如申请专利范围第7项之装置,其中该反射元件 包含一矩形部(480),而该至少一支柱系设在该矩形 部的一侧处。 14.如申请专利范围第1项之装置,更包含: 一驱动板(35)介设于该基材表面与反射元件之间, 且该驱动板与反射元件系可在该第一位置与至少 一第二位置之间移动。 15.如申请专利范围第1项之装置,其中该反射元件 包括一导电材料。 16.如申请专利范围第15之装置,其中该反射元件系 可回应施加一电信号于该导电材料而来移动。 17.如申请专利范围第1项之装置,更包含: 至少一电极(60/62)设在基材表面上靠近该反射元件 的一端处; 其中该反射元件系可回应施加一电信号于该至少 一电极而来移动。 18.如申请专利范围第17之装置,其中该反射元件包 括一导电材料,且该反射元件系可回应施加一电信 号于该至少一电极及该导电材料而来移动。 19.如申请专利范围第1项之装置,其中该介电液体 系可增强以一定致动能量来操作时产生于该反射 元件上的作动力。 20.一种制造微镜装置(10/10')的方法,该方法包含: 提供一基材(20)其具有一表面(22); 平行于该基材表面来定向一板(30)并使该板与基材 表面间隔分开,且在该板与基材表面之间形成一空 穴(50); 在该空穴内装设一介电液体(52);及 将一反射元件(42/142/242/342/442)介设于基材表面与 该板之间; 其中该反射元件系可在一第一位置与至少一第二 位置之间移动。 图式简单说明: 第1图为本发明一实施例之微镜装置的部份截面示 意图。 第2图为本发明一实施例之微镜装置的部份立体图 。 第3图为本发明另一实施例之微镜装置的部份立体 图。 第4图为沿第2及3图中之4-4线的截面示意图,乃示出 本发明的微镜装置之一作动实施例。 第5图为类似于第4图的截面示意图,乃示出本发明 的微镜装置之另一作动实施例。 第6图为类似于第4图的截面示意图,乃示出本发明 的微镜装置之又一作动实施例。 第7图为本发明又另一实施例之微镜装置的部份立 体图。 第8图为沿第7图之8-8线的截面示意图,乃示出本发 明的微镜装置之一作动实施例。 第9图为本发明又另一实施例之微镜装置的部份立 体图。 第10A图为沿第9图之10-10线的截面示意图,乃示出本 发明的微镜装置之一作动实施例。 第10B图为类似于第10A图的截面示意图,乃示出本发 明的微镜装置之另一作动实施例。 第10C图为类似于第10A图的截面示意图,乃示出本发 明的微镜装置之又一作动实施例。 第11图为本发明又另一实施例之微镜装置的部份 立体图。 第12图为沿第11图之12-12线的截面示意图,乃示出本 发明的微镜装置之一作动实施例。 第13图为一含有本发明之微镜装置的显示系统实 施例的方块图。 第14图为本发明之微镜装置一阵列实施例的部份 立体图。 第15图为本发明之微镜装置另一阵列实施例的部 份立体图。 |
