| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM BILDEN VON IONENIMPLANTIERTEN GEBIETEN, SELBSTAUSGERICHTET MIT UEBERLIEGENDEN ISOLIERENDEN SCHICHTTEILEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3244588(A1) |
申请公布日期 |
1983.07.14 |
| 申请号 |
DE19823244588 |
申请日期 |
1982.12.02 |
| 申请人 |
N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN |
发明人 |
LAL MALWAH,MANOHAR |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/027;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/762;H01L29/06;(IPC1-7):C30B31/22;G03F7/26;H01L21/26 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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