| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR PRODUCING WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5887830(A) |
申请公布日期 |
1983.05.25 |
| 申请号 |
JP19820198318 |
申请日期 |
1982.11.10 |
| 申请人 |
SHIRIKON TEKUNOROJII CORP |
发明人 |
ROBAATO II SUTEIA JIYUNIA |
| 分类号 |
B28D1/22;B23Q7/04;B28D5/00;B28D5/02;H01L21/304;H01L21/683 |
主分类号 |
B28D1/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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