发明名称 ANORDNUNG KOMPLEMENTAERER FELDEFFEKTRANSISTOREN
摘要 A Metal Insulator Semiconductor (MIS) field effect device has an oxygen-doped polycrystalline silicon layer on the field portion in order to prevent an unwanted parasitic inversion layer. The oxygen-doped polycrystalline silicon layer contains oxygen in the range of 2 to 40 atomic percent.
申请公布号 AT370560(B) 申请公布日期 1983.04.11
申请号 AT19750004856 申请日期 1975.06.24
申请人 SONY CORPORATION 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/00;H01L21/283;H01L21/768;H01L23/522;H01L29/00;H01L29/76;(IPC1-7):01L21/314;01L29/78;01L29/04 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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