发明名称 ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPS5834174(A) 申请公布日期 1983.02.28
申请号 JP19810131174 申请日期 1981.08.20
申请人 MATSUSHITA DENKI SANGYO KK 发明人 TAKASE YOSHIHISA
分类号 H05K3/06;C23F1/00;G03C1/00;G03F7/004;H05K3/04 主分类号 H05K3/06
代理机构 代理人
主权项
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