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经营范围
发明名称
TUNGSTEN HEATER FOR DEPOSITION
摘要
申请公布号
JPS5828190(A)
申请公布日期
1983.02.19
申请号
JP19810125294
申请日期
1981.08.12
申请人
TOKYO SHIBAURA DENKI KK
发明人
KOIZUMI HIDEO
分类号
H05B3/10;H05B3/12
主分类号
H05B3/10
代理机构
代理人
主权项
地址
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