发明名称
摘要
申请公布号 JPS58822(B2) 申请公布日期 1983.01.08
申请号 JP19760130483 申请日期 1976.11.01
申请人 HITACHI LTD 发明人 KANBARA HIDEKI
分类号 H01J49/16;G01N27/62;H01J9/44 主分类号 H01J49/16
代理机构 代理人
主权项
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