基板检查装置及使用于基板检查装置之灯元件

摘要

本发明系一种提高装置内之清净度之基板检查装置，以容易更换灯光源为目的，且基板检查装置构成为可在巨观照明装置进行基板之外观检查。巨观照明装置在高清净部内于微观检查部上方具有光源装置。光源装置可由前壁门交换内部之灯。由于光源装置配置于清净度相对于处理基板之领域较低之第一领域，因此即使进行光源装置之灯更换，处理基板之领域的清净度也不会降低。