发明名称
摘要
申请公布号 JPS57161240(U) 申请公布日期 1982.10.09
申请号 JP19810047396U 申请日期 1981.04.03
申请人 发明人
分类号 B23Q3/15;B25B11/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/68;H01L21/683;H05K13/00;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 B23Q3/15
代理机构 代理人
主权项
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