发明名称 SUPPORTER FOR SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPS5740920(B2) 申请公布日期 1982.08.31
申请号 JP19790004944 申请日期 1979.01.19
申请人 发明人
分类号 C25D13/00;B05D3/02 主分类号 C25D13/00
代理机构 代理人
主权项
地址