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发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR SPUTTERING MUTLIPLE CYLINDERS
摘要
申请公布号
GB2010916(B)
申请公布日期
1982.08.25
申请号
GB19780049556
申请日期
1978.12.21
申请人
COULTER SYSTEMS CORP
发明人
分类号
C23C14/34;C23C14/50
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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