发明名称 VAPOR PHASE GROWING METHOD FOR MAGNESIA SPINEL
摘要
申请公布号 JPS5788097(A) 申请公布日期 1982.06.01
申请号 JP19800162196 申请日期 1980.11.18
申请人 FUJITSU KK 发明人 IHARA MASARU;CHIFUKU MASAYUKI
分类号 H01L27/00;C01F5/02;C01F7/16;C30B25/02;C30B29/16;C30B29/26;H01L21/365;H01L21/86 主分类号 H01L27/00
代理机构 代理人
主权项
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