发明名称 |
VAPOR PHASE GROWING METHOD FOR MAGNESIA SPINEL |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5788097(A) |
申请公布日期 |
1982.06.01 |
申请号 |
JP19800162196 |
申请日期 |
1980.11.18 |
申请人 |
FUJITSU KK |
发明人 |
IHARA MASARU;CHIFUKU MASAYUKI |
分类号 |
H01L27/00;C01F5/02;C01F7/16;C30B25/02;C30B29/16;C30B29/26;H01L21/365;H01L21/86 |
主分类号 |
H01L27/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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