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发明名称
BUNRYOSANKABUTSURYOIKIOJUSURU HANDOTAISOCHINOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号
JPS5187979(A)
申请公布日期
1976.07.31
申请号
JP19750012584
申请日期
1975.01.31
申请人
HITACHI LTD
发明人
HAYASAKA AKIO;NODA HIDEO;SUZUKI MICHIO;KONDO HIROYUKI
分类号
H01L21/76
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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