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发明名称
摘要
申请公布号 JPS576252(B2) 申请公布日期 1982.02.04
申请号 JP19750079015 申请日期 1975.06.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/60;H01L21/288;H01L21/70;H01L29/861 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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