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发明名称 METHOD OF DOPING SEMICONDUCTOR AT HIGH SPEED
摘要
申请公布号 JPS56122127(A) 申请公布日期 1981.09.25
申请号 JP19810012217 申请日期 1981.01.29
申请人 COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE 发明人 MISHIERU BURIYUERU
分类号 C30B31/22;H01L21/263;H01L21/265 主分类号 C30B31/22
代理机构 代理人
主权项
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