| 发明名称 |
Apparatus for sawing disk-like material. |
| 摘要 |
<p>Installation de sciage de tranches de matériau semi-conducteur, comprenant un poste d'alignement (1), un poste de sciage (9) et un poste de nettoyage (7). Un dispositif de manutention, prévu pour amener les tranches d'un poste à l'autre en garantissant un positionnement parfait sous le disque (11) de la scie, comporte au moins deux plateaux-porteurs (2,13) d'une table mobile (14) et une équerre de transfert (15). Les plateaux (2) et (13) sont prévus pour retenir une tranche par aspiration, qu'ils soient portés par le support fixe (6) ou par la table mobile (14).</p> |
| 申请公布号 |
EP0035963(A1) |
申请公布日期 |
1981.09.16 |
| 申请号 |
EP19810810041 |
申请日期 |
1981.02.12 |
| 申请人 |
LES FABRIQUES D'ASSORTIMENTS REUNIES |
发明人 |
WIRZ, GUSTAV;PIZZAGALLI, FRANCO |
| 分类号 |
H01L21/304;B23D59/00;B28D5/00;B28D5/02;H01L21/301;H01L21/683;(IPC1-7):28D5/00 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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