| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS56115560(A) |
申请公布日期 |
1981.09.10 |
| 申请号 |
JP19800018690 |
申请日期 |
1980.02.18 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
KANZAKI KOUICHI;TAGUCHI MINORU |
| 分类号 |
H01L27/082;H01L21/033;H01L21/331;H01L21/8226;H01L29/73 |
主分类号 |
H01L27/082 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
