发明名称 RESISTAUFBAU AUF EINEM SUBSTRAT SOWIE VERFAHREN ZUM ENTWERFEN EINES MUSTERS IN DIESEM
摘要
申请公布号 DE3044434(A1) 申请公布日期 1981.08.27
申请号 DE19803044434 申请日期 1980.11.26
申请人 WESTERN ELECTRIC CO.,INC. 发明人 EDWIN HOWARD,RICHARD;LYNN HU,EVELYN;DAVID JACKEL,LAWRENCE
分类号 H01L21/027;G03F7/039;G03F7/095;G03F7/26;(IPC1-7):H01L21/31;H01F10/00;H01J37/31 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
地址