发明名称 |
INRICHTING VOOR HET ONDERZOEKEN VAN HALFGELEIDER- INRICHTINGEN EN WERKWIJZE VOOR DE VERVAARDIGING VAN ZULK EEN ONDERZOEKINRICHTING. |
摘要 |
|
申请公布号 |
NL166548(C) |
申请公布日期 |
1981.08.17 |
申请号 |
NL19700001944 |
申请日期 |
1970.02.11 |
申请人 |
TIECO, INC. TE MOUNTAIN VIEW, CALIFORNIE, VER. ST. V. AM. |
发明人 |
|
分类号 |
G01R31/26;G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 |
主分类号 |
G01R31/26 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|