发明名称 PROCEDIMENTO PER CONTROLLARE IL TENORE DI OSSIGENO DI BARRE DI SILICIO TIRATE SECONDO IL METODO DI CZOCHRALSKI.
摘要
申请公布号 IT8122487(D0) 申请公布日期 1981.06.22
申请号 IT19810022487 申请日期 1981.06.22
申请人 AD ARMONK NEW YORK U.S.A. INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES 发明人 JACQUES COMBRONDE;JEAN-CLAUDE FELIX
分类号 C30B15/00;C30B15/20;C30B15/30;C30B29/06;H01L21/18;H01L21/208;(IPC1-7):G01N/ 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
地址