发明名称
摘要
申请公布号 FR2271569(B1) 申请公布日期 1981.04.10
申请号 FR19750015545 申请日期 1975.05.16
申请人 POST OFFICE 发明人
分类号 G01N27/02;H01L21/66;(IPC1-7):01N27/22;01L21/66 主分类号 G01N27/02
代理机构 代理人
主权项
地址