OPTO-ELEKTRONISCHES PRUEFSYSTEM ZUR AUTOMATISCHEN BESCHAFFENHEITSPRUEFUNG VON LEITERPLATTEN, DEREN ZWISCHENPRODUKTE UND DRUCKWERKZEUGE,申请号DE19792929846-传众专利搜索

发明名称	OPTO-ELEKTRONISCHES PRUEFSYSTEM ZUR AUTOMATISCHEN BESCHAFFENHEITSPRUEFUNG VON LEITERPLATTEN, DEREN ZWISCHENPRODUKTE UND DRUCKWERKZEUGE
摘要
申请公布号	DE2929846(A1)	申请公布日期	1981.03.12
申请号	DE19792929846	申请日期	1979.07.23
申请人	SIEMENS AG	发明人	DOEMENS,GUENTER,DR.-ING.;HENDRICKS,DIPL.-ING.,ULRICH;SCHNEIDER,DR.RER.NAT.,RICHARD;WILD,DIPL.-ING.,KARL
分类号	G01N21/88;G01B11/24;G01N21/956;G01R31/28;G01R31/309;G03F1/08;G06T1/00;G06T7/00;H01L21/027;H01L21/66;H04N7/18;(IPC1-7):G01B11/24;G01M11/00;G01R31/02;G06K9/00	主分类号	G01N21/88
代理机构		代理人
主权项
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