发明名称
摘要
申请公布号 JPS5623670(U) 申请公布日期 1981.03.03
申请号 JP19790104874U 申请日期 1979.07.31
申请人 发明人
分类号 H01L21/30;C23C14/04;H01L21/027;H01L21/308;H01L21/68;(IPC1-7):C23C13/06 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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