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发明名称
Film thickness controller
摘要
申请公布号
EP0608918(B1)
申请公布日期
1999.10.06
申请号
EP19940104089
申请日期
1989.02.17
申请人
MITSUBISHI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA
发明人
AKASAKA, NORIYUKI
分类号
B29C47/92;G05B13/02;G05D5/03;(IPC1-7):G05D5/03
主分类号
B29C47/92
代理机构
代理人
主权项
地址
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