发明名称 超细流体喷射设备
摘要 一种超细流体喷射设备,包括配置在超细直径喷嘴末端附近的一基片,向喷嘴提供溶液,并向喷嘴中的溶液施加可选波形电压,以便向基片表面喷射超细直径的流体液滴;其中喷嘴末端的附近的电场强度根据喷嘴直径的降低,充分大于喷嘴与基片之间作用的电场;且其中使用麦克斯韦尔应力及电湿作用,通过降低喷嘴直径等降低电导率,并改进通过电压控制的喷射速率的可控制性;且其中通过使用带电液滴适度的蒸发并通过电场对液滴的加速,指数地改进着陆精确性。
申请公布号 CN1635933A 申请公布日期 2005.07.06
申请号 CN03804287.8 申请日期 2003.02.20
申请人 独立行政法人产业技术综合研究所 发明人 村田和广
分类号 B05B5/035;B05B5/08;B41J2/01 主分类号 B05B5/035
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 郭思宇
主权项 1.一种超细流体喷射设备,包括一个基片,配置在超细直径喷嘴的末端附近,对喷嘴提供溶液,向喷嘴中的溶液施加可选波形的电压,以便向基片表面喷射超细直径的流体液滴;其中喷嘴的内径设置在0.01μm到25μm,以便增加喷嘴末端的集中的电场强度,降低施加的电压。
地址 日本东京