| 发明名称 |
DEVICE FOR HEAT TREATING SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS55140236(A) |
申请公布日期 |
1980.11.01 |
| 申请号 |
JP19790047476 |
申请日期 |
1979.04.18 |
| 申请人 |
TEL THERMCO KK |
发明人 |
SATOU RIYOUZOU;INOUE TAKESHI;SATOU MASASHIROU |
| 分类号 |
H01L21/22;C23C16/44;C23C16/455;C30B31/10;C30B31/12 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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