发明名称 VORRICHTUNG ZUM BESCHICHTEN VON SUBSTRATEN
摘要
申请公布号 DD144568(A1) 申请公布日期 1980.10.22
申请号 DD19790213863 申请日期 1979.06.25
申请人 FELDHOFER,FRIEDHELM,DD;HARTMANN,ULRICH,DD;SCHUBERT,GERHARD,DD 发明人 FELDHOFER,FRIEDHELM,DD;HARTMANN,ULRICH,DD;SCHUBERT,GERHARD,DD
分类号 (IPC1-7):C23C15/00 主分类号 (IPC1-7):C23C15/00
代理机构 代理人
主权项
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