发明名称 |
VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER MEHRSTUFEN-MESA |
摘要 |
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申请公布号 |
DE3005627(A1) |
申请公布日期 |
1980.09.04 |
申请号 |
DE19803005627 |
申请日期 |
1980.02.15 |
申请人 |
RCA CORP. |
发明人 |
GERARD EINTHOVEN,WILLEM;SAVIDGE NEILSON,JOHN MANNING |
分类号 |
H01L21/306;H01L21/308;H01L21/331;H01L27/06;H01L29/73;(IPC1-7):H01L21/308 |
主分类号 |
H01L21/306 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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