METHOD FOR FORMING ELECTRONICCBEAM RESIST PATTERN ON ELECTRICAL INSULATING MATERIAL,申请号JP19790013563-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR FORMING ELECTRONICCBEAM RESIST PATTERN ON ELECTRICAL INSULATING MATERIAL
摘要
申请公布号	JPS55105331(A)	申请公布日期	1980.08.12
申请号	JP19790013563	申请日期	1979.02.08
申请人	NIPPON ELECTRIC CO	发明人	IIDA YASUO
分类号	H01L21/027;H01L21/30	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
主权项
地址

您可能感兴趣的专利