发明名称 Solid vaporization
摘要
申请公布号 US3274372(A) 申请公布日期 1966.09.20
申请号 US19640385509 申请日期 1964.07.27
申请人 ELECTRO-OPTICAL SYSTEMS, INC. 发明人 FRANK RUDOLPH
分类号 C23C14/26 主分类号 C23C14/26
代理机构 代理人
主权项
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