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发明名称 APPARATUS FOR MEASURING FILM THICKNESS ON SUBSTRATES
摘要
申请公布号 SU748131(A1) 申请公布日期 1980.07.15
申请号 SU19772515336 申请日期 1977.08.01
申请人 SKROBOTOVA OLGA M,SU;SAFRONOV LEV K,SU;KHODOVOJ VLADIMIR A,SU 发明人 SKROBOTOVA OLGA M,SU;SAFRONOV LEV K,SU;KHODOVOJ VLADIMIR A,SU
分类号 (IPC1-7):G01B19/38 主分类号 (IPC1-7):G01B19/38
代理机构 代理人
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