发明名称 FUNCTION TESTING MACHINE FOR DIGITAL INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS5590866(A) 申请公布日期 1980.07.09
申请号 JP19780165063 申请日期 1978.12.29
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TSUKADA HIROSHI
分类号 G01R31/28;G01R31/26;G01R31/319;H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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