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发明名称 DIFFUSION FURNACE TEMPERATURE CONTROLLER
摘要
申请公布号 JPS5589464(A) 申请公布日期 1980.07.07
申请号 JP19780162448 申请日期 1978.12.26
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 OOGOSHI TAKAYUKI;TANAKA TAKASHI
分类号 C23C10/00;F27D19/00;H01L21/22 主分类号 C23C10/00
代理机构 代理人
主权项
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