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发明名称 SOFT XXRAY LITHOGRAPHIC SYSTEM
摘要
申请公布号 JPS5574048(A) 申请公布日期 1980.06.04
申请号 JP19790150578 申请日期 1979.11.20
申请人 MACHLETT LAB INC 发明人 SOORABU DEII EMANIYUERU
分类号 H01J35/00;G03F7/20;H01J35/10;H01J35/18;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 H01J35/00
代理机构 代理人
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