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经营范围
发明名称
METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPS5555531(A)
申请公布日期
1980.04.23
申请号
JP19780127984
申请日期
1978.10.18
申请人
CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI
发明人
TAGUCHI TSUNEHIRO;WADA TOSHIO
分类号
H01L21/302
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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