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经营范围
发明名称
FULL AUTOMATIC APPARATUS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5516435(A)
申请公布日期
1980.02.05
申请号
JP19780089358
申请日期
1978.07.24
申请人
FUJITSU LTD
发明人
MIYASHITA SHINICHI
分类号
H01L21/265
主分类号
H01L21/265
代理机构
代理人
主权项
地址
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