发明名称 METHOD OF MANUFACTURING MOS SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS551194(A) 申请公布日期 1980.01.07
申请号 JP19790061386 申请日期 1979.05.18
申请人 MARUMAN INTEGRATED CIRCUITS 发明人 JIERII DABURIYUU TSUIMUMAA
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/316;H01L21/336;H01L29/417;H01L29/51 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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