发明名称 STORING PACKAGE OF SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPS54159864(A) 申请公布日期 1979.12.18
申请号 JP19780069476 申请日期 1978.06.08
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 NAKAMURA YOSHIAKI
分类号 H01L21/673;B65D85/38;H01L21/02;H01L21/67 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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