发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS54158170(A) 申请公布日期 1979.12.13
申请号 JP19780066713 申请日期 1978.06.05
申请人 HITACHI LTD 发明人 SHIMAZOE MICHITAKA;MATSUOKA YOSHITAKA
分类号 H01L21/822;H01L23/02;H01L23/04;H01L27/04 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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