| 摘要 |
<P>Détecteur de pression semi-conducteur possédant une plaquette à cristal unique semi-conducteur et un substrat d'isolation. Sur cette plaquette en cristal unique semi-conducteur, deux diaphragmes sensibles à la pression sont formés par deux cavités et sur chaque diaphragme est construite une paire de jauges de contrainte. Sur cette même plaquette à cristal unique semi-conducteur, des calibres à électrodes sont en plus construits pour la connexion électrique de ces jauges de contrainte. La plaquette est fixée sur le substrat d'isolation en borosilicate de verre, de façon à former entre eux deux chambres. Une de ces deux chambres est une chambre à vide, et dans l'autre le vide d'une tubulure de moteur y est amené par l'intermédiaire d'un trou formé sur le substrat d'isolation. Par conséquent, une pression absolue d'atmosphère et une pression relative du vide dans la tubulure par rapport à l'atmosphère sont obtenues en détectant les résistances sensibles à la contrainte des deux pièces des jauges de contrainte, respectivement. Et l'assemblage de la plaquette à cristal unique semi-conducteur et du substrat désolation en verre est réalisé par la méthode de liaison anordique.</P>
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