| 发明名称 |
FORMING METHOD OF INSULATION FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS54128678(A) |
申请公布日期 |
1979.10.05 |
| 申请号 |
JP19780036102 |
申请日期 |
1978.03.30 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
OKANO HARUO;HARADA NOZOMI;KUBOTA NOBUHISA |
| 分类号 |
H01L29/762;H01L21/316;H01L21/339;H01L27/10 |
主分类号 |
H01L29/762 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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