发明名称 INTEGRATED CIRCUIT MANUFACTURE
摘要
申请公布号 GB1551129(A) 申请公布日期 1979.08.22
申请号 GB19760038560 申请日期 1976.09.17
申请人 SIGNETICS CORP 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/74;(IPC1-7):H01L21/04 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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