发明名称
摘要
申请公布号 JPS5423227(B2) 申请公布日期 1979.08.11
申请号 JP19770002238 申请日期 1977.01.12
申请人 发明人
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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