发明名称 FABBRICAZIONE DI UN DISPOSITIVO MEDIANTE ATTACCO CON PLASMA.
摘要
申请公布号 IT7924776(D0) 申请公布日期 1979.07.30
申请号 IT19790024776 申请日期 1979.07.30
申请人 WESTERN ELECTRIC CO. INCORPORATED 发明人
分类号 H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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