发明名称 Planar etching of fused silica
摘要
申请公布号 US3383255(A) 申请公布日期 1968.05.14
申请号 US19640409264 申请日期 1964.11.05
申请人 NORTH AMERICAN ROCKWELL CORPORATION 发明人 ROSSI CARL J.;KAVEGGIA FREDERICK S.;NELSON KURT H.
分类号 C03C15/00 主分类号 C03C15/00
代理机构 代理人
主权项
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