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发明名称 METHOD OF FABRICATING SEMICONDUCTOR SURFACE OXIDATION FILM BY DC DISCHARGE METHOD
摘要
申请公布号 JPS5477067(A) 申请公布日期 1979.06.20
申请号 JP19770144458 申请日期 1977.12.01
申请人 TOKYO DAIGAKU 发明人 SUGANO TAKUO;OGA FUSAKO
分类号 H01L21/316;H01L21/302 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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