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发明名称 METHOD OF PRODUCING METAL PATTERN
摘要
申请公布号 JPS5471052(A) 申请公布日期 1979.06.07
申请号 JP19770137899 申请日期 1977.11.18
申请人 HITACHI LTD 发明人 ABE HIDEO;ISHIGAKI MASAHARU
分类号 C23F1/00;G03F7/26;G03F7/38;H01L21/302;H01L21/306 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
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