发明名称 ETCHING SOLUTION FOR ALLOY SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS5423380(A) 申请公布日期 1979.02.21
申请号 JP19770088564 申请日期 1977.07.22
申请人 FUJITSU LTD;NIPPON DENSHI KOGYO SHINKO 发明人 DOI SHIYOUJI
分类号 H01L21/308;H01L21/302 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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